氧化膜扩孔不耐磨怎么处理

提问网友发布时间：2024-04-12 04:11

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热心网友回答时间：2024-05-01 02:44

在半导体器件的制造上，氧化膜具有极为重要的作用。其被利用为MOS晶体管的棚级氧化膜、PN接合部的保护膜、杂质扩散的光罩。制造氧化膜的代表例有：热氧化法及气相成长法（CVD法）。

理论解释编辑
金属钝化理论认为，钝化是由于表面生成覆盖性良好的致密的钝化膜。大多数钝化膜是由金属氧化物组成，故称氧化膜。如铁钝化膜为γ-Fe2O3，Fe3O4，铝钝化膜为无孔的γ-Al2O3等。氧化膜厚度一般为10-9～10-10m。一些还原性阴离子，如Cl-对氧化膜破坏作用较大。

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