玻璃板上只能直接沉积非晶硅薄膜是因为非晶硅薄膜分解出来的硅原子或含硅的基团可以沉积在玻璃板衬底上。在玻璃基板上沉积的非晶硅薄膜表面采用激光表面晶化的方法制备,薄层微晶硅层的方法.将直接沉积在玻璃板上的非晶硅薄膜,用激光加热晶化的方法使非晶硅薄膜部分转化为微晶硅;所用的激光加热晶化的方法是将非晶硅薄膜样品置于激光器的样品台上,用激光束进行照射,非晶硅薄膜吸收了激光的能量转换为自身能量,发生局部熔化再结晶,经表面晶化处理使得非晶硅转变为微晶硅。
本文如未解决您的问题请添加抖音号:51dongshi(抖音搜索懂视),直接咨询即可。